產(chǎn)品概述

MLKL-SOI系列高溫傳感器芯片是使用耐高溫SOI材料，基于單晶硅壓阻效應(yīng)，采用特種耐高溫加工工藝制作的硅壓阻式絕對壓力傳感器芯片，具有高精度、抗玷污、無PN結(jié)漏電、長期穩(wěn)定性好、工作溫度高、溫度漂移小等特點(diǎn)。產(chǎn)品可工作于-60℃~220℃的溫度范圍。該芯片依靠公司自主研發(fā)技術(shù)，能夠滿足高溫環(huán)境下，高精度、高可靠的壓力測量需求，系列包括10MPa、20MPa、40MPa的絕壓壓力量程。

應(yīng)用

l 航空航天

l 工業(yè)過程控制

l 醫(yī)療器械

l 氣象監(jiān)控

l 發(fā)動(dòng)機(jī)控制

產(chǎn)品特點(diǎn)

l 絕壓壓阻式MEMS傳感器芯片 

l 大厚度芯片，隔絕應(yīng)力：

2.70 mm（L）×2.70 mm（W）×1.90mm（H）

l 電壓源供電

l 開/閉惠斯通電橋，毫伏級(jí)輸出

l 額定壓力量程：40MPa絕壓

l 良好的長期穩(wěn)定性和耐高溫工作能力

主要參數(shù)

注：性能指標(biāo)供參考，以實(shí)際訂單為準(zhǔn)。