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MKPS10MPa絕壓芯片

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商品說明

產(chǎn)品概述

MLKL-SOI系列高溫傳感器芯片是使用耐高溫SOI材料,基于單晶硅壓阻效應(yīng),采用特種耐高溫加工工藝制作的硅壓阻式絕對壓力傳感器芯片,具有高精度、抗玷污、無PN結(jié)漏電、長期穩(wěn)定性好、工作溫度高、溫度漂移小等特點(diǎn)。產(chǎn)品可工作于-60℃~220℃的溫度范圍。該芯片依靠公司自主研發(fā)技術(shù),能夠滿足高溫環(huán)境下,高精度、高可靠的壓力測量需求,系列包括10MPa、20MPa、40MPa的絕壓壓力量程。

應(yīng)用

航空航天

工業(yè)過程控制

醫(yī)療器械

氣象監(jiān)控

發(fā)動機(jī)控制

產(chǎn)品特點(diǎn)

絕壓壓阻式MEMS傳感器芯片 

大厚度芯片,隔絕應(yīng)力

2.70 mmL×2.70 mmW)×1.90mmH

電壓源供電

/惠斯通電橋,毫伏級輸出

額定壓力量程:10MPa絕壓

良好的長期穩(wěn)定性和耐高溫工作能力

主要參數(shù)

參數(shù)

最小值

典型值

最大值

單位

滿量程輸出

80

100

120

mv@5V

電橋電阻

0.8

1.0

1.2

零點(diǎn)輸出

-10

-

10

mV

電橋電阻溫度系數(shù)

0.1

0.12

0.15

%/K

滿量程溫漂系數(shù)

-0.15

-0.16

-0.17

%F.S.S./K

遲滯

-

<0.05

-

±%F.S.S.

長期穩(wěn)定性

-

<0.2

-

±%F.S.S./year

線性誤差

-

<0.1

-

±%F.S.S.

工作溫度

-60

-

220

:性能指標(biāo)供參考,以實際訂單為準(zhǔn)。


0512-62761152
1315476659@qq.com
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