PKU_PTI_01_500kPa絕壓說明書

商品說明

PKU_PTI_01-A 型壓力傳感器芯片產(chǎn)品概述

PKU_PTI 系列傳感器芯片基于單晶硅材料，基于單晶硅壓阻效應(yīng)，采用標(biāo)準(zhǔn)加工工藝制作的硅壓阻式絕壓壓力傳感器芯片，具有精度高、工作溫度寬、抗玷污強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好及安裝應(yīng)力影響小等特點(diǎn)，產(chǎn)品可工作于-55℃～150℃的溫度范圍。該芯片依靠公司自主研發(fā)技術(shù)，能夠滿足高精度、高可靠的工業(yè)級(jí)高端壓力傳感器及智能產(chǎn)品需要，能為客戶提供最優(yōu)質(zhì)的解決方案。

應(yīng)用

l 航空、航天、航海

l 工業(yè)過程控制

l 醫(yī)療器械

l 氣象監(jiān)控

l 汽車領(lǐng)域

產(chǎn)品特點(diǎn)

l 絕壓壓阻式 MEMS 傳感器芯片

l 大厚度芯片，隔絕應(yīng)力：

2.60 mm（L）×2.60 mm（W）×1.90mm

（H）

l 電壓源供電

l 開/閉惠斯通電橋，毫伏級(jí)輸出

l 額定壓力量程：0-500kPa

l 出眾的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，年穩(wěn)定性優(yōu)于 0.05%

（需符合封裝要求）

主要參數(shù)

參數(shù)	最小值	典型值	最大值	單位
滿量程輸出	80	100	120	mv@5V
電橋電阻	3.5	3.8	4	KΩ
零點(diǎn)輸出	-10	-	10	mV
熱零點(diǎn)漂移		＜0.04		%F.S.S./K
電橋電阻溫度系數(shù)	0.1	0.12	0.15	%/K
熱靈敏度漂移	-0.2	-0.18	-0.16	%F.S.S./K
遲滯	-	<0.05	-	±%F.S.S.
長(zhǎng)期穩(wěn)定性	-	<0.05	-	±%F.S.S./year
線性誤差	-	0.15	-	±%F.S.S.
工作溫度	-50	-	150	℃
工作電壓	3	5	10	V